问题描述：电子特气有哪些？质量有什么要求？
解答：
常用的高纯特种气体有30多种，包括烷类气体、卤化物气体和其他气体。
电子级气体分类
由于在化学气相沉积、刻蚀、离子注入、外延等前段制造工艺中，气体中的有害杂质浓度对芯片的成品率有着直接的影响。目前，大部分的高纯特种气体的纯度应达到99.99%(4N)以上。随着集成电路制造技术节点的不断提升，对气体纯度的要求也越来越高，部分气体需要经过进一步纯化处理，使其纯度大大99.999%（5N）或99.9999%（6N）以上，对重金属及其他元素含量都有相应的技术要求。
电子工业用气体硅烷重金属及其他元素技术指标*[19]
某厂家硅烷的质量控制要求
以上内容来自仪器信息网《ICP-MS实战宝典》
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