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ICPMS测硫酸里的Zn不准确

  • 豆皮爱好者
    2022/07/18
  • 私聊

ICP-MS

  • 新手上路,用一台ICPMS测十几种样品,酸碱混酸有机物等,浓度范围差别也很大,现在的问题是硫酸里的Zn很难测准确,我们要求的是10ppt的spec,但是连买的高纯硫酸(出厂检测数值10ppt以下)测出来都有几十上百ppt,明显不准,后期连超纯水Zn的值都有十几ppt,完全不能出数据,让安捷伦的厂商来调,就说我们测得太杂了,调不下来,可是设备才用不到半年,很郁闷
    设备型号:安捷伦8900(200)半导体产业适用
    Zn:68-102,68-85,hot NH3模式
    石英1.5mm矩管,pt锥
    矩管用5%的硝酸清洗,超纯水超声,锥也洗过了,Zn还是下不来,没做硫酸前其他化学品的Zn还好,现在都挺高的了,大家有遇到过类似情况吗?
    有没有大神可以帮帮我
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  • timstoicpms

    第1楼2022/07/18

    用一台ICPMS测十几种样品,酸碱混酸有机物等—— 你起码得准备 2-3个石英雾化室,酸、碱、有机溶剂 各一个。
    如果你听说过 前安捷伦维修工程师 王强的话,可以联系他,他就在苏州。

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  • tuxlin

    第2楼2022/07/19

    应助达人

    Zn的本底也不好控制,容易污染。我们这里Zn的本底能控制在十几个ppt的话,都要偷笑了。

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  • 次元之暗面

    第3楼2022/07/21

    估计要整套进样系统换一换,试剂瓶子也要换一换

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  • 豆皮爱好者

    第4楼2022/07/22

    同类型的半导体公司可以测到10ppt以下,我们测不到,不知道是不是方法问题

    tuxlin(tuxlin) 发表:Zn的本底也不好控制,容易污染。我们这里Zn的本底能控制在十几个ppt的话,都要偷笑了。

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  • timstoicpms

    第5楼2022/07/22

    我把你这个问题转给 王强 看,他认为:很多测试细节的把控,与 操作者 的能力密切相关。
    建议你去请同行师傅 手把手教。

    豆皮爱好者(Insm_81771997) 发表:同类型的半导体公司可以测到10ppt以下,我们测不到,不知道是不是方法问题

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  • 光哥

    第6楼2022/07/25

    应助工程师

    以前遇到过一样的情况:

    1、如果进样系统全都拆洗了,还是下不来;

    2、拆洗打磨透镜;

    3、如果透镜拆洗打磨了还下不来;

    3、拆了八极杆清洗;

    这个问题以前用7700s也遇到过。大概是经常进稀硫酸,导致最终八极杆上都有所残留了。当时我拆卸清洗了八极杆,本底就下来了

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  • Insm_1e5a543b

    第7楼2024/04/05

    可以试试其他模式和质量数

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