第1楼2004/11/13
1.电子探针即EPMA(电子探针显微分析),最初的目的是以电子束为探测源来分析样品中微区的化学成分,一般配备波谱仪。而扫描电镜SEM,其最初目的是为了观察样品表面形貌,一般配备能谱仪。最近的发展,电子探针上也可配备能谱仪,扫描电镜上也可配备波谱仪,即在一台EPMA或SEM上可以同时配备WDS,EDS,EBSD.从仪器构造上,EPMA和SEM并不本质上的区别。
2.环扫ESEM是为了适应不导电、含水等样品分析的需要而发展起来的,如生物样品。与常规SEM相比,ESEM可以在低真空下使用。如FEI公司的XL系列,ZEISS公司的EVO系列扫描电镜。通常要另外配备低真空二次电子探头。
3.透射电镜TEM观察的样品是薄样品(厚度约200um),有成像模式和衍射模式两种工作方式。可配备EDS和EELS(电子能量损失谱),用于分析微区形貌、成分、晶体结构、晶体缺陷等。但薄样品制备较为困难,通常先将样品减薄到500um(用不用的砂纸),在用离子减薄到合适的厚度(如用离子束击穿样品,在孔的附近区域的厚度即可符合分析要求)。
4.至于原子力显微镜,广泛意义上来说是扫描探针显微镜SPM,其原理是利用探针和样品之间的原子相互作用力,电磁力等来分析样品的表面状态或其电磁畴结构等。
第3楼2004/11/16
SYSMITH朋友讲的是好,但是较笼统, 在下做一些补充,请各位指教。
1,电子探针显微镜 (SEPM)之所以用来做波谱成分分析, 是由於他的电子束要比一般的 扫描电镜 稳定的多的缘故,通过提高硬体结构的强度和在镜筒高端使用离子甭,SEPM的真空可以达到E-007TORR,要比SEM的E-005TORR强的多,因此电子束也稳定的多, 而波谱分析需要极稳定的电子束, 这也是为什么一般的SEM 不配备波谱议的原因。
我们可以理解SEPM是较SEM 高端的产品,但是使用范围要较SEM小。
从仪器表面构造上,两台仪器大体类似, 但通过仔细观察, SEPM镜筒高端有黑色永磁体包裹的 离子甭, 而且系统的减震设备也较高级,这是一般的SEM所不具备的。
还有,SEPM只会使用钨丝的发射源, 因为他可以从钨发射源得到很强壮的电子流,而这是冷或热场发射源所作不到的。
2,环扫ENVIROMENTAL SEM,简称ESEM是 FEI公司的专用名称和品牌,原因是他 们第一个注册的。
所有FEI公司出品的电镜几乎全部配备标准的环扫功能, 不论是在XL系列或是QUANTA系列,只有少数型号是高真空模式的。
ZEISS公司的EVO标准配备只有高真空模式,EP(EXTENDED PRESSURE)或XVP(EXTRA VIRIABLE PRESSURE)模式是选配,而且他们不允许使用环扫的品牌,即使功能完全一样!他们较可变压力模式。
还有FEI的XL系列已经停产,现在全部叫QUANTA,ZEISS 得EVO是原LEO1400的升级版。
第9楼2005/06/12
SPM2004的说法也太过了些吧,原子力显微镜与扫描电镜的用途和特长还是不一样的,怎么可能相互替代呢?!只不过商业宣传罢了,蒙蒙外行