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扫描电镜(SEM/EDS)
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基于带电粒子追踪与蒙特卡洛方法的低真空SEM电子探测器仿真分析
hmzhou83
2023/06/23
私聊
扫描电镜(SEM/EDS)
分享一篇关于低真空SEM技术的文献。《电子显微学报》2023年4月,第42卷第2期
低真空扫描电子显微镜对含水、含气以及不导电样品等的表征方面有着重要应用。国仪量子公司团队基于电子轨迹追踪模拟和粒子碰撞蒙特卡洛模拟,对低真空信号探测器的工作过程进行仿真和实测,分析了探测器在不同位置和气压大小对收集效率的影响。根据模型所预测的探测电流的大致范围同实测探测电流较为一致。同时仿真分析的结果表明,空间中不同区域的放电强度有较大区别,局部区域的雪崩倍增剧烈程度与该区域的电场强度成正相关。这对探测器的形状和位置布局设计具有显著的指导意义。
附件:
基于带电粒子追踪与蒙特卡洛方法的低真空SEM电子探测器仿真分析 (1).pdf
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私聊
yayicuo
第1楼
2023/06/24
应助达人
科技的发展带动了人们认识了更多的未知世界。
0
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