扫描电镜（SEM/EDS）
一颗蒲公英
第1楼2023/08/26
能谱本身就是半定量的数据，你做EDS只能代表区域的成分含量。
XYZ987
第2楼2023/09/05
楼上说的对，能谱的数据本身分辨率很低，只能是半定量。这个0.01at%原子比表示的只是一个相对含量，不是绝对含量，你可以看一下数据里所有元素的at% 与wt% 加起来是等于100%。所以，他不是表示能谱测试出了0.01的精度，而只是这个元素所占比例。
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