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出售磁控溅射仪（私聊）

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2023/10/09

其他仪器综合讨论

磁控溅射仪（2019下半年购入，9成9新）

设备技术要求
1.样品基台：直径 6 英寸样品
2.反应腔室：304 不锈钢材质
3.靶座系统：3 英寸圆形靶座 4 个，位于腔室上部；靶与样品的距离90~110mm 可调
4.真空系统：分子泵，机械泵
5.真空测量：薄膜规（进口），全量程规（进口）
6.气路系统：标配 2 路进气，种类和流量可定制；管路配件（进口）
7.电源系统：500W/13.56MHz 自动匹配射频源 1 套（进口）；500W 直流电源 2 套（进口）
8.样品载台：自转旋转 5-30rpm 可调；加热温度 300℃；可加射频偏压200V 预清洗基片
9.真空性能：本底真空优于 6.67x10-5Pa
10.控制系统：工控机；触摸屏，菜单自动/手动操作
11.安全控制：异常报警
12.工艺应用：金属薄膜和介质薄膜沉积
13.不均匀性：≤±5%@6 英寸
14.设备尺寸：一体型设备；占地面价（参考）1.0m*1.50m。

运行需求：
供电需求： 380V、三相五线制；设备总功率需求约为 15KW
冷却水：＞1.5L/min
压缩空气： 0.4~0.6Mpa

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