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扫描电镜成像原理
Ins_e97fd931
2023/12/05
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扫描电镜(SEM/EDS)
扫描电镜的分辨本领一般指的是二次电子像的空间分辨本领,它是在高放大倍数下,人们能从照片中分清两相邻物像的最小距离。通常是用两物像边缘的最小距离来计算。但照片放大近十万倍后,边缘轮廓往往不十分清晰敏锐,难以测量准确。现在多数人喜欢用两个亮点(或黑点)之间的中心距离来表示,像透射电镜的分辨本领测试一样,这种方法比较严格可靠。
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