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无定形氧化硅纳米薄膜XRD表征求助

  • Ins_a2703f46
    2024/04/10
    • 私聊

X射线衍射仪（XRD）

  • 求教，目前需要表征氧化硅薄膜，无法从基底上独立出来，我们通常把薄膜做在单晶硅片上。厚度可以控制在纳米-几个微米之间。
    我们需要做这种无定形氧化硅结构的pdf（对分布函数）分析，请问有没有什么推荐的XRD表征方法呢？

    掠入射XRD可能比较适合我们的薄膜体系，但是向老师咨询了一下，掠入射角度范围太小了，无法用来做pdf分析。
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    +关注 私聊

  • iangie

    第1楼2024/04/11

    应助达人

    几个微米厚的东西可以用FIB cut出来.
    上同步辐射PDF beamline

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