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lianghu
第14楼2008/09/25
hitttr 发表:个人认为，用AFM测量膜厚不外乎有三种方法：
1.从截面进行测量，利用光学系统将针尖定位在界面附近，然后进行扫描。
这需要做镶嵌样，将样品镶嵌在树脂中，然后磨平，进行扫描。
利用相位成像技术，能区分出衬底，膜和树脂。
这种方法制样比较复杂，结果不大可靠。
2.做台阶样品，即让膜在衬底上部分生长，这样就可以在衬底上形成一个膜的台阶，利用光学系统将针尖定位在台阶附近，进行扫描即可。
这种测量方法最为准确，且样品制备也相对简单。
只需在膜的制备过程中，将衬底的一部分区域保护起来，不让膜形成即可。
3.对于一些比较软，且厚度较小（几纳米到几十纳米）的样品而言。
可以用刻蚀的方法，用针尖在样品上刻蚀出一个衬底与膜的界面，
即把膜划穿，露出衬底。然后扫描这个界面即可。
这种方法，适用范围较窄，且测量结果也缺乏准确性。