空氣中氧氣會吸收 <180nm 以下的光，
採用氮氣有幾個優點，
1. 氮氣與空氣的折射率類似
2. 保護光學系統，避免水氣進入光學系統中，鏽蝕一些元件，甚至讓光學元件發霉。
3. 抽真空方式可能會有pump cooloing oil溢露至光學系統中造成污染，
維修麻煩
甚至有些廠家的設計一旦真空pump掛點，整台ICP都不能用了。

你咋用繁体字呢？

氮气代替氩气的话也可以，但是要求的含量为99.999%，而此时氩气只要达到99.996%就可以了，同时如果你要检测短波长的元素，一定要用氮气代替空气，因为氮气化学性质稳定，不会吸收紫外区的波长的光能量

咨询过，一般用氩气。