呵呵，PE的工程师告诉我在点火前先把蠕动泵转一转，再点火就没有问题了。
反正进几次这样做了，没有这种情况出现了。

前几天仪器的气路板坏了，氩气都进不了雾化器！

我维修过PE，2100DV的ICP光谱。也遇到过这种问题，仪器报警：share gas流量问题。

可能的原因有：

share gas （一般用的是N气，压缩空气）气压不足。仪器侧面有个透明的流量开关，气压不足够顶气流量开关里面的小金属柱子，刚点火的时候能顶起（气流的冲力），气流稳定后气压会略微减小，导致小金属柱子慢慢会滑下来。其流量变小导致仪器熄火并报警。

解决方法：尽量不用压缩空气，含水分太多。我现在用的是厂里做的N气。纯度不错并且干燥。
用瓶装氮气在气快用完的时候压力不稳定，用管道氮气最好。我这管道氮气压力最高只有0.6MPa.不是太高，所以我把流量开关倾斜一定角度安装，使气更容易将小金属柱子顶起，不容易下滑。问题解决。

我也遇到过这种情况，蠕动泵一开就熄火，是因为雾化器长时间没用太干燥了，蠕动泵启动的时候带进的部分是空气，导致ICP火焰不稳定瞬间火焰被抬升然后产生火焰焠灭现象，你可以先不开放RF功率，先进些稀硝酸雾化后再点火，让进样管中充满了液体就可以了。

以前用JY的仪器时也遇过这种情况，后来每次开机前先开一段时间蠕动泵，情况就有所改善
还有就是点火前进的空白溶液最好不要用过分纯的二次水，带少量离子的一次蒸馏水比较好，容易点着火

我也觉得应该是这种情况

这种情况一般下是由于ＳＨＥＡＲ　ＧＡＳ　相关情况引起的，在仪器里面有一个负责ＳＨＥＡＲ　ＧＡＳ　开关的流量计，可能是由于天气潮湿，或者流量计太脏了，导致流量计没有按照系统的指令进行开关，从而导致点火失败，可以试多几次或清洗流量计则可．平时要注意空气不要太潮湿

看看射频线圈是否被腐蚀,其应定期清洗,因为腐蚀会减少对等离子体能量的传输效率,并增加对射频发生系统中其它部件的应力.

的确是这样，空气潮湿或太脏都可能点不着火

5300DV碰到过这种情况。我们这一旦出现这种情况，80%以上是刚玉喷嘴或者炬管脏了，换个干净的上去或者拆下喷嘴、炬管清洗干净干燥后装上就没事了。5300DV我们是天天使用的，不存在雾化器太干燥的问题。曾经听说过某单位使用ICP一年都不清洗也不更换喷嘴和炬管的，真是难以相信她们是怎么测样的。楼主你看看是不是你的喷嘴脏了？