SPOT size 由小变大时，SEM图像会由尖锐(画面比较沙)变得比较圆滑,解析度也会有所降低, 而且spot size的大小会对EDS观察的dead time产生影响，就我所观察的样品多数时候spot size变大，dead time也变大, 有时甚至会超过50%而导致EDS无法执行。具体影响，可以先用试run再执行。

扫描电镜束斑直径和入射电子束在样品中的扩展效应是影响扫描电镜分辨率的主要因素，一般认为扫描电镜能分辨的最小间距（分辨本领）不可能小于扫描电子束斑直径。
SEM观察中，电子束流孔径越小，试样的放大倍数和清晰度越高。但是，图像信噪比低，也就是说，S/N比例依赖于电子束流。电子束与电子束孔径的关系见表1。即电子束直径降低，电子束流随之降低。
因此，在选择合适的电子束流以适应试样的放大倍数和观测条件（加速电压、试样倾斜）是很有必要的。

束斑越小分辨率越高。

束斑越小，电子束越会聚，分辨率越高

呵，其实Spot size就是电镜束斑的大小，在做EDS时当束斑变大，等于加大了打到样品上的电子束，这时样品被激发出来的能量也就会越多，采集数率也会上升，但此时死亡时间也会变长。
所以并不是Spot size越大越好。

完整SPOT的描述包括三个参数：d、i、a。分别表示交叉斑处的直径，电流，和孔径角。spot size 指的是参数d。一般扫描电镜是三级磁透镜，两级聚光镜，和一个物镜。透镜的目的是把电子枪发射的电子束逐级缩小，同时在每一级透镜附近都有一个光阑用于限制远轴束电子。这样经过两级透镜的电子束流就会逐级减少。也就是SPOT SIZE越小，孔径角越大，进入下一级磁透镜的i值减少越多。这里的spot size 专门指聚光镜spot
我们希望作用在样品上的SPOT, small size，同时large i,这样样品产生的有用信号就会多，信噪比高，高分辨图像明亮清晰，能谱采集计数率高。
但对于同一种电子枪来说，small size 同时意味着 small i，

束斑越小，电子束越会聚，分辨率越高 .
在做ＥＤＳ是一般会将束斑调大，增加电子的激发数

越大，景深越高，看起来清晰，实则忽略了很小的细节。
高倍率观察时调小，细节性的东西扫描时不会遗漏，但景深较浅。

束斑和景深有如此直接的关系？ 不会吧。 我觉得高倍率观察时景深小的原因并不是束斑小，而是work distance小了。

束斑越小，打到样品上的电子束流越小，信号越弱。 我的FEI老电镜（XL-30）说明书上说，束斑每减小一档，通常束流变为原来的1/4。