我烧过1个，维修工程师说是冷却气和辅助气流量设置不对。

我也遇到那样问题。就是因为冷却气堵塞，距管半面燃烧。

我们用的VARIAN的,已经烧了3个了,时间是没规律的,简直像个定时炸弹,说不定哪天又给烧了.
工程师来了也没说明个原因,大概是说我们的炬管装的太近了,其实说2MM, 肯定足够了...还说可能清洗安装人不一样,位置不一样也有影响...我想即使是同一个人每次也会装的不一样吧...
大家有什么好的建议??多谢