+关注 私聊
  • 110sl119

    第11楼2009/01/18

    时间长厚;
    电流大,PT的颗粒大;
    一般超过5nm你怎么分析啊?

0
    +关注 私聊
  • guanjun19860820

    第12楼2009/01/23

    和你的电压电流以及时间有关的,一般也就几个到几十个纳米吧!

0
    +关注 私聊
  • 驰奔

    第13楼2009/09/26

    d=kivt
    例如:KYKY生产的SBC-12 小型离子溅射仪
    金靶空气,K=0.07
    i=8mA
    v=1.6kv
    t=100秒
    d=0.07*8*1.6*100=89.6埃

0
    +关注 私聊
  • rainflying666

    第14楼2009/10/08

    和镀金电流,镀金时间都有关系的吧

0
    +关注 私聊
  • wcf333459

    第15楼2009/10/12

    我们用的是低真空,高压在2kv~~3kv之间,离子流为4--6 mA,时间有3---4分钟吧,这样不知道那喷的金到底有多厚?

0
    +关注 私聊
  • teufelmond

    第16楼2009/10/12

    我记得是在说明说的后几页有一个线性关系图,标明了时间,电流对厚度的影响,具体的忘记了~

0
    +关注 私聊
  • 驰奔

    第17楼2009/10/13

    离子流的大小通过调节真空度是可控制的,如果改为2-4mA 镀膜质量要好一些

    srd2009 发表:

0
    +关注 私聊
  • 驰奔

    第18楼2009/10/13

    dmai=0.07*4*2*180=100.8埃-----------dmax=0.07*6*3*240=302 埃

    按照你的条件喷金厚度在
    10.08nm---30.2nm 之间



    wcf333459 发表:我们用的是低真空,高压在2kv~~3kv之间,离子流为4--6 mA,时间有3---4分钟吧,这样不知道那喷的金到底有多厚?

0
    +关注 私聊
  • huangtao0307

    第19楼2009/10/14

    具體厚度還真不好算﹐當時有問過日本電子原材工程師也沒給出確切的答案.
    只說一般情況下都是通過鍍金后的顏色來判定其厚度.越深代表越厚.

0
    +关注 私聊
  • syning90

    第20楼2009/11/03

    这个要根据什么样品来说,一般说来在5-10nm,太厚了会影响样品表面形态,太薄了容易产生放电现象,所以这个还是根据经验来看。

    另外,电流大小影响的是金颗粒的大小,而喷金时间的长短影响的是金膜的厚度

0
查看更多