110sl119
第11楼2009/01/18
时间长厚;电流大,PT的颗粒大;一般超过5nm你怎么分析啊?
guanjun19860820
第12楼2009/01/23
和你的电压电流以及时间有关的,一般也就几个到几十个纳米吧!
驰奔
第13楼2009/09/26
d=kivt例如:KYKY生产的SBC-12 小型离子溅射仪 金靶空气,K=0.07i=8mAv=1.6kvt=100秒d=0.07*8*1.6*100=89.6埃
rainflying666
第14楼2009/10/08
和镀金电流,镀金时间都有关系的吧
wcf333459
第15楼2009/10/12
我们用的是低真空,高压在2kv~~3kv之间,离子流为4--6 mA,时间有3---4分钟吧,这样不知道那喷的金到底有多厚?
teufelmond
第16楼2009/10/12
我记得是在说明说的后几页有一个线性关系图,标明了时间,电流对厚度的影响,具体的忘记了~
第17楼2009/10/13
离子流的大小通过调节真空度是可控制的,如果改为2-4mA 镀膜质量要好一些
第18楼2009/10/13
dmai=0.07*4*2*180=100.8埃-----------dmax=0.07*6*3*240=302 埃按照你的条件喷金厚度在10.08nm---30.2nm 之间
huangtao0307
第19楼2009/10/14
具體厚度還真不好算﹐當時有問過日本電子原材工程師也沒給出確切的答案.只說一般情況下都是通過鍍金后的顏色來判定其厚度.越深代表越厚.
syning90
第20楼2009/11/03
这个要根据什么样品来说,一般说来在5-10nm,太厚了会影响样品表面形态,太薄了容易产生放电现象,所以这个还是根据经验来看。另外,电流大小影响的是金颗粒的大小,而喷金时间的长短影响的是金膜的厚度