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azuoin
第13楼2012/09/04
楼上说的很有道理。由于一直椭偏领域工作，也科普一下，希望对大家有所帮助。
椭偏术，又称椭圆偏振技术，英文叫Ellipsometry，是一种多功能和强大的光学薄膜测量技术，可用以取得薄膜厚度信息的介电性质信息（复数折射率或介电常数）。
该技术利用测得偏振光照射薄膜反射（或透射）光束偏振状态的改变从而获得薄膜的物理信息。即分析自样品反射之激化光的改变，椭圆偏振技术可得到膜厚比探测光本身波长更短的薄膜资讯，小至一个单原子层，甚至更小。椭圆仪可测得复数或介电函数张量，可以此获得基本的物理参数，并且这与各种样品的性质，包括形态、晶体质量、化学成分或导电性，有所关联。它常被用来鉴定单层或多层堆栈的薄膜厚度，可量测厚度由数埃（Angstrom）或数纳米到几微米皆有极佳的准确性。
关于楼上几个问题：
1. 可测厚度范围：从数埃（Angstrom）到几个微米甚至几十个微米。在某种意义上，纳米厚度薄膜是椭偏术最佳厚度测量范围。
2. 可测试样：薄膜必须透光（部分吸收和透明半透明薄膜）；基底可以不透光，透明基底可以把基底涂黑或者将玻片下表面打磨成毛玻璃状态。另外，现在有一种成像椭偏仪，可以通过挡板部分挡光从而实现不改变透明基底状态椭偏测量。也可实现非均一薄膜测量。
3. 有机薄膜可以测量。现在的椭偏仪功能都非常强大。各种薄膜检测，液体内部原位检测都可实现。
4. 多层堆栈薄膜可以测量。
5. 模型分析：由于椭偏方法并非直接获得被测材料的n, k, d值。我们只能通过获得的反射光束的偏振状态信息来进行数据拟合。所以模型非常关键。但是现在各大椭偏仪制造商的测试软件和拟合软件都非常强大，也非常人性化。数据拟合越来越容易。
6. 波长范围：紫外（<200nm）和红外（>2000nm）都可实现。相比较而言，紫外波段更难。conf106(conf106) 发表:楼上诸位真英雄，讨论如此热烈，可见椭偏的应用渐渐广泛了。
我来说上几点：
1.椭偏仪的原理，决定了他可以用来测量非常薄的膜层厚度，理论上可以到1nm以下（因为实际上这么薄的膜非常少），厚可以至几十微米，故应用范围还是很宽的；
2.椭偏仪测量，需要有各个界面的光反射至接受的椭偏臂，故不透光的膜层是无法测量的，有部分吸收和透明的膜都可以测，透明基底测量的困难在于基底背面的反射光的干扰，可以采用背面涂黑或其他方法，实现测量，并不难；
3.有机薄膜也是可以测量的，关键在于建立准确的模型，现在的椭偏仪都配有丰富的数据库和模型库，软件界面也非常友好，故有机膜的测量不难；
4.折射率和吸收吸收也可以测量，不过结果不是直接得到的，需要模型计算出来。
如有问题，请随时联系，谢谢！
