GDMS不使用标样，相对误差较大，ICP-MS测试的误差主要来源于前处理

GDMS测试的时候虽然测的是表面，但是一般都会进行打磨、溅射，直至测得的结果是稳定的

我两种都用过，各有各的好！就金属和半导体而言，如果形状满足，肯定是GDMS好，优点有操作的简便性，PPb的检测限，70多种元素的检测范围，表面溅射清洗，采样的代表性，不受环境试剂等的污染，结果的可靠性等，都是ICP-MS不能比拟的；至于校正用的固体标样，现在还是比较齐全的（只要不是特殊样品），况且灵敏度因子一旦建立，那是一劳永逸的事。但如果是碎屑金属和半导体，或绝缘体、液体、气溶胶、土壤、植物等样品，那肯定是ICP—MS拿手。至于选择啥，看你常年分析啥样品！