欠焦和过焦本身就存在像散，是吗？

个人觉得不是～，没有像散时的过焦和欠焦是这样的：



图像只会变模糊，不会拉伸～

而有像散时是这样的：



分为X像散和Y像散，发生X像散时的过焦和欠焦图像会向0度和90度拉伸，而Y像散时则会向45度和135度拉伸～～

总能给人带来漂亮图片的萧文，赞

呵呵 给个通俗易懂的解释
SEM在设计的时候，是希望所有的聚焦场都是圆对称的，但是很遗憾，由于加工以及材料本身材质的问题，是做不出来这样的器件的，也即，这些器件，不管是聚焦透镜 还是物镜，所产生的场都会有些非圆对称，这就引入了像差
像散是什么？ 像散就是由于聚焦场的某个方向聚焦能力强，而对应垂直方向的聚焦能力相对较弱，导致的像差类型
如何消除像差？ 消像散器，其实就是一个四极透镜，起到的作用就是使得聚焦场在聚集能力弱的方向得到补偿，强的方向得到减弱，从而使得再次满足聚焦场圆对称的条件

以上就是在SEM中所有部件都是很好，干净，合轴，光路上没有charge的情况下才成立的

当然，在实际使用中，导致像散产生的因素就很多了，比如光阑了，对中不好有脏东西了，都会导致像散产生

不过本质也都是一样的，破坏了原有的圆对称场分布

这个通俗易懂的解释恐怕有多个概念性错误：
1，像差和像散是不同概念的，
2，也是由不同原因形成的，
3，所以消除起来也是很不同的
建议您察看每周一问的帖子。

哦 “ 如何消除像差？ ”这句话里面笔误了，应该是像散；

其它不觉得有问题

谢谢提醒

更正完毕

对于像散的修正，还要说一句，对于是由于电子束本身性质，部件本身材质，以及微量的不对中导致的像散，是可以通过消像散器解决的
但是 如果是其它的原因的话，建议重新对中，或者清洗脏东西

對于像散的角度不太理解﹗

SeanWen 发表:个人觉得不是～，没有像散时的过焦和欠焦是这样的：



图像只会变模糊，不会拉伸～

而有像散时是这样的：



分为X像散和Y像散，发生X像散时的过焦和欠焦图像会向0度和90度拉伸，而Y像散时则会向45度和135度拉伸～～

这里对您说错的一一解释一下：

1，原话：
SEM在设计的时候，是希望所有的聚焦场都是圆对称的，但是很遗憾，由于加工以及材料本身材质的问题，是做不出来这样的器件的，也即，这些器件，不管是聚焦透镜 还是物镜，所产生的场都会有些非圆对称，这就引入了像差

经过精密选材和加工，镜筒中的球差是完全可以消除的，所以硬件设计是没有问题的，只是对起始电子的能量均一无法完全控制，所以也就导致了电子显微镜的局限性。

2，原话：
像散是什么？ 像散就是由于聚焦场的某个方向聚焦能力强，而对应垂直方向的聚焦能力相对较弱，导致的像差类型

这句话其实大错特错，像散并不是由于你讲的聚焦场聚焦能力不均而引起的，在各个方向聚焦能力都一致的情况下，像散也是可以发生的，萧文的关于欠焦合过焦的图解正说明了这个概念问题。

其实像散的引起是和聚焦线圈没有关系的。

3，如何消除像散？ 消像散器，其实就是一个四极透镜，起到的作用就是使得聚焦场在聚集能力弱的方向得到补偿，强的方向得到减弱，从而使得再次满足聚焦场圆对称的条件

这个说法更是不对，消像散器根本不是电磁透镜，更不知道您说的四级从何而来。
消像散器是由一组八个，共两组十六个的偏转线圈构成的，坐落在扫描线圈组的上方。

4，原话：
当然，在实际使用中，导致像散产生的因素就很多了，比如光阑了，对中不好有脏东西了，都会导致像散产生，不过本质也都是一样的，破坏了原有的圆对称场分布。

很明显，以上的理解都错了，这个解释只有更错了。
像散和像差的本质和产生原因是很不一样的。

那所谓的四极式与八极式消散器主要区别又是什么呢？功能上？效率上？方式上？

呵呵，把版主都引来了 ，好事啊，大家可以多讨论多进步

不过， 中校先生，我觉得有些问题确实是需要商榷的

对于对称圆透镜来说，无论如何选材，如何精密加工，球差是不可能消除，除非加入相应的消球差的装置；你可以查找 “谢尔赤定理”：“在静的旋转对称，无空间电荷，且能成像的圆透镜系统中，球差系数恒大于零”；并且硬件的设计对性能有着很大的影响，所以在采用相同电子枪的情况下，有的SEM分辨率就高，有的就低（我想，大家不会认为这是由电路或者软件引起的吧^_^）；当然，承认一点，在sem中，电子枪对最终成像的影响是最大的，至少大于物镜的影响。

对于像散及消像散器，我想，版主可能理解有偏差，所谓的四极透镜，四极场，并不是说它的机械结构只有四级，而是说这麽多极形成的场是四级场，四级场的特征就是：电子在四级场的一个方向，如x方向，受到离轴的发散力作用，在垂直方向，即y方向，受到指向轴的聚焦力作用（可参考唐天同老师编写的《应用带电粒子光学导论》的第五章第一节内容）。现在多用磁的八级结构（或者说在八瓣结构上绕上线圈）的零件来形成四级透镜，或说，形成了四级场，来实现消像散的功能；我看到你也提到，你看到的消像散器为八级结构的；这点上面，我们是有共识的。
既然，消像散器的特征就是提供一个方向聚焦，垂直方向发散的场，那么像散是怎么回事呢？可以很容易倒推出来吧

需要强调一点的是像差的定义，或者几何像差的定义：由于粒子束本身不能很好的满足旁轴条件，所成的像相对于旁轴粒子的理想成像的误差，叫几何像差；像差包括：球差，慧差，像散，场曲，畸变；这是一个基本常识，请不要混淆

其实有些电子光学上面的概念，没有那么复杂难懂，本身就是一个电磁场嘛，大家说，是不是？

欢迎评判指正！

呵呵，再次感谢版主，把这个帖子放在上面，让大家一起讨论，学习



[quote]原文由 RENXIN 发表:这里对您说错的一一解释一下：

1，原话：

经过精密选材和加工，镜筒中的球差是完全可以消除的，所以硬件设计是没有问题的，只是对起始电子的能量均一无法完全控制，所以也就导致了电子显微镜的局限性。

2，原话：

这句话其实大错特错，像散并不是由于你讲的聚焦场聚焦能力不均而引起的，在各个方向聚焦能力都一致的情况下，像散也是可以发生的，萧文的关于欠焦合过焦的图解正说明了这个概念问题。

其实像散的引起是和聚焦线圈没有关系的。

3，如何消除像散？

这个说法更是不对，消像散器根本不是电磁透镜，更不知道您说的四级从何而来。
消像散器是由一组八个，共两组十六个的偏转线圈构成的，坐落在扫描线圈组的上方。

4，原话：
当然，在实际使用中，导致像散产生的因素就很多了，比如光阑了，对中不好有脏东西了，都会导致像散产生，不过本质也都是一样的，破坏了原有的圆对称场分布。

很明显，以上的理解都错了，这个解释只有更错了。
像散和像差的本质和产生原因是很不一样的。