ICP-MS仪器主要有以下几个组成部分：ICP离子源、RF发生器、样品引入系统、接口与离子光学透镜、质量分析器、多级真空系统、检测与数据处理系统、计算机系统。

质谱仪中要求离子在运动中不产生不应有的碰撞，为此，系统中背景粒子的数量要尽可能减少到最少，才能把离子的碰撞效应减到最小，要达到此目的，就要求质量分析器要置于超高真空条件下。

无机质谱相比较有机质谱，少了样品分离的色谱柱，因为更高的离子电离能，对激发光源的要求更高。
整个系统由1.样品引入系统
2.离子激发系统
3.离子选择分离器
4.离子分析器
4个部分组成，其中3，4做在一起的很多。

真空可以给离子提供较大的自由程，
消除空气中气体分子的干扰，避免离子间不必要的碰撞。
高的气压可能引起加速电压放电，
高气压导致离子—分子反应，改变质谱图。