觉得多晶硅中需要解决¹⁸Si¹⁹F⁺对⁴⁷PO⁺的干扰问题，如果用³¹P，又需要解决NOH等的干扰...

如果是47则需要处理干净样品溶液中的硅，混酸加的多，比例得当，温度掌控好应该可以的，我试过，大部分可以赶干净，只是耗酸多，也是缺点

ICP-MS现在被领导认为是万能仪器，除了永久气体以外，什么都能做

henhao，多谢啦

全英文的啊，得慢慢看了

测硅基体中的P时，如果用P定量，面临着NOH多原子的干扰，用PO定量，又存在SiO、SiF（消解硅基体样品时用到HF酸）的干扰。即便没有硅基体的样品，PO曲线也需要设备状态特别好的情况下才能做好，所以，用ICP-MS测P可信度很差，ICP-MS不适合测P。

应助达人

个人经验：我做过PO，用的PE仪器，用质控样（食品），结果都可在中位值附近，线性最低点5ppb，做的更低，不是很清楚，仪器状态一般

新手学习了

应助工程师

实际的UMG样品，消解完成后拿来做标准加入法，0.5 1 2 5ppb的曲线直直的，而且分析结果和GDMS以及SIMS的结果完全对得上。

当然，要是浓度再低的样品，我没坐过，精密度如何说不上来。