cw
第11楼2013/08/08
专业的电子束曝光机原理类似电子显微镜,不太算属于电子显微镜。但是目前不少高校和研究所购买的NPGS电子束纳米图形发生系统就属于电子显微镜了。因为这个纳米图形发生系统就是要基于扫描电镜来进行改装使用的电子束光刻技术。我们实验室从香港理化买后用的一直挺好的,个人见解,不知是否正确,供参考
thebigwall
第12楼2013/11/03
电子束曝光机是微纳制造的机器,控制光刻胶的成型,与扫描电镜不是一回事,原理也不同
fengyonghe
第13楼2013/11/03
电子束光刻技术
Raith150光刻设备
产品标签: 电子束曝光系统 EBL系统 纳米图形发生器