那么EDS和WDS的探测范围呢？有什么特别的说法没？

同见Egerton

收到！

波谱和能谱一回事，不过一个是能量色散，一个是波长色散，波谱的特点在轻元素分析容易一点，好像是谱峰分的比较开，我只有大致印象，因为我们为了做Be特意配了波谱。

波谱的特点是能量分辨率比能谱好很多，所以峰分离比较好，典型的例子是BaTiO3。Ba和Ti的能谱峰在20keV范围内基本上完全重叠，无法分离，但是在波谱里就能分开。对原子序数倒是没有明显的选择性。

各位高手：
我用的是牛津公司的能谱仪，最近发现如下问题：
1，电镜参数正常是，SPOTSIZE都正常时，死时间很长，采集速率很大：
死时间 采集速率
关高压 40~45% 5.0~5.8-----正常（小于0.5kcps)
开高压 50~54% 4.3~4.6-----正常（小于3kcps）
2.测样时噪声峰很高。
反复出现，请教各位啦。帮帮忙啊！太感谢了！

谢谢老大！

请单独开帖讨论吧。
另外，建议同时发到SEM版面。
我个人觉得你的探头可能结霜了，试试用conditioner除霜试试。另外，液氮每周添加量是不是比以前大和多？