354pA/cm2，这个数值相当惊人。

是的,这是200 keV,x300K下把电子束聚的比较小,80keV的时候值小一些,但最大也有150PA/CM2,但是按这个算法得到的束流比上面文献中给出的要小得多呀,至少量级上都不对.??

那个测量值要乘上荧光屏面积才是电流。不过，这样可能也偏得不少。大概电子在荧光屏上有不少反射，测到的电流值并不是下来的全部的电子束。

我觉得A=354pA/cm2并不离谱，但造成你估计的最小束斑处的电流密度过高或许是因为你的束斑大小估计有误。有什么证据支持你的15nm的估计？

有个问题你注意到没有，别人的数据电流密度的量级是1A/cm2。你的计算值大了两个数量级，我觉得你的测量肯定有问题。

电子的最大能量密度极限取决于电镜球差和电子之间的电荷效应，在球差可消除的情况下，让我们来估算一下使用电镜能达到的最大电流（以100 keV为例）：
此时电子波长约为12.3986/SQRT((2*511.0+100)*100)=0.03701487（Angstroms);
假设电子和电子之间的距离最近不能相互靠近在其波长范围内，那么电子束在空间的最大浓度约1/(0.03701487E-10)^3=1.971838E34 (/m3);
因此1cm2截面上的最大电流I = nesv =1.971838E34*1.6E-19*1E-4*1.8752289E8=5.9162361659491E19 (A)
注：100keV的电子的速度这里通过电子静止质量估计出，v=sqrt(2E/m)=SQRT(2*1E5*1.6E-19/9.1E-31)=1.8752289E8 (m/s)，接近光速的2/3。

而200A/cm2远远小于这个值，因此如果你的束斑没有估计错误的话，我认为不必为200A/cm2而感到惊慌。
你也不烦将200A/cm2反算到电子-电子间距约为2.5 microns，很安全，不是吗？

纠正一下上面我说的。那个引用的数据是2微米的束斑，比你的大概大了100倍，如果电子枪类型和设置类似，样品处的束流密度应该比你的小10000倍左右。如果他的是1A/cm2，那你的应该在10000A/cm2。看来有什么隐藏的东西不对，不能直接比较。

不错,学习学习

所以，电流密度的估算方法应该是：屏幕显示的值乘以荧光屏面积再除以光斑面积吗？

这里要要注意两个问题
1. 荧光屏的束流大小是需要进行校准的 也就是说 那个数值如果没有校准的话 是不准确的 当然数值代表的是整个荧光屏接收到的电流
2. 荧光屏有时候会被打坏 尤其是中心区域做衍射的话 很容易被打坏，这样就会出现束斑很小的时候 主要照射到被打坏的区域 显示的数值就会出错 会变小