可能是电容遇水了，导致出现RF 报错，我们遇到过，那是因为同事不小心随气体吹进水汽了，导致电容部分遇水，等水挥发干净就好了，看看排风系统没有水分，这是工程师曾提示过的，不过不是热电的，你可以看看，拆拆仪器看看是否有水分进去。

您好，我们公司的ICP也出现过这样的情况，是在冰灾后出现的，主要有以下原因导致不能正常点火
1、工作温度湿度 最好在15～30度之间 我们公司的是25度（恒温间）
2、ICP有3好像个放大器，其中任何一级别出现匹配问题都会影响
3、RF
4、与射频放大版连接的射频线的问题。
5、聚管是否有问题
6、气体的纯精度和压力表（个人建议把表体拿去检定，换瓶气体）
我个人建议如要维修先换掉射频连接线，虽然用表量是好的，可是在高频下就不能保证了，如果再有问题联系bluehat-boy@21cn.com

点火一段时间后熄灭以前我也碰到过，不过后来查清楚原来是抽风机的风量不稳定造成的。等离子体熄灭的时候你在状态那应该可以看到有哪一项是红的啊，这样就知道是哪部分的问题吧。