如果不是用含油的气体压缩机，气泵之类的，怕也不是那么容易在气体里引入油分。

更何况气体进入气相仪器之前肯定是要接净化设备的吧？

不是说EPC是怕5um以上的小颗粒吗？油分也能进去吗？只要氢气发生器不返碱应该就没事吧