太恐怖了！
不知是碰到了样品还是碰到了样品台？
一般放样品之前都会尽量避免让样品的高度高于样品台，
如果样品不能处理而高于样品台，要在放入之前 估计样品超过样品台的高度，然后将样品的高度信息输入进SEM中，SEM会限高；
如果更换了不同尺寸的样品台，也要在HOLDER中重新选择样品台类型；

如果是自动失控，也可能是操作杆的失效吧，（源于儿时玩掌机的体会）大家不要笑我！
如果是碰到样品台 可能危害要小一些，因为看探头处，中间的窗口周围是用厚的金属片保护的，还有突出的螺钉固定；窗口是不会直接碰到样品台的；（当然我不是售后，这么分析只是希望楼主稍安勿燥）
如果是SEM本身的问题（软件/硬件），希望日本电子可以给出纠正措施，并给大家未发生的设备给出预防措施！
以上

弱弱的问一句，为什么你的SEM软件是英文的？

说错了，为什么是中文的？

碰坏就碰坏呗，反正你们有钱！上报，修呗！

这个问题我们也碰到过。
我们是新买的6490。在操作过程中突然样品台失控，X\Y方向失控，z轴没有出现异常。发生此问题时样品操纵杆失灵。第一次样品台初始化后大约半年时间又出现过一次。

我们将能谱的mpo功能删除，接触能谱对扫描电镜样品台的控制和监测，到目前为止再没有发生该问题。


自己感觉：6490的电路控制经过改造（比较6460），是不是和能谱通讯之间的兼容性出现了问题？

据说日本也有一个类似的情况，目前还没有解决方案

扭矩的问题，哈哈哈

撞了 就等于给厂家去送钱

日本电子好像没有中文的操作界面吧？你们的怎么是中文的？是不是自己装软件汉化的呢？仪器的电脑是不能随便乱装软件的哦，容易对仪器本身的软件造成干扰，出现问题。

我们是把控制样品台的线拔掉再重新插一下就好了

看了楼上几位的回复，貌似这个问题不是独家的？

在这里回答几个问题：
1、我们的软件是中文的
是因为当初买设备时候提的要求，要求将软件、帮助文件进行汉化；
2、是否装了其他软件，或中毒？
系统安装好以后，不曾安装别的软件；日常文件转移是通过联机（不入网）的电脑进行的，联机电脑安装有杀毒软件；
上上次出问题后，我们安排公司相关技术部门对电脑是否带毒进行检测，结果表明设备电脑是清白的；
3. 这个问题是否经常出现？
这个问题很难回答，因为很难界定什么是“经常”；不过在楼1中那次故障以前，以及以后，样品台通过鼠标/操控台进行控制时，会偶尔出现失控现象；

PS： 去年一次在EBSD实验，用控制台对样品台进行移动过程中（前后移动），样品台失控将EBSD的屏幕撞破了。。。，发现失控时紧急关机都冒来得及，而且那次紧急关机后控制台对样品台的操作已经失效了； 目前，还在等日本电子的回复，还不晓得要怎么维修； 不过这次失控以后，我们现在对样品台操作主要利用软件进行（排除了鼠标长按操作），目前还没发现失控现象。