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  • 第11楼2005/07/07

    嗯，学到了

    halerok 发表:此探针非探针仪，应该是制电子束经透镜最后形成的探针

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  • 第12楼2005/07/07

    原来是这样，我们的电镜没有I probe的数据，只是有个spot size在那里。

    cz_sem 发表:SEM CONTROL面版中GUN除了电压、电流外还有
    BEAM CURRENT=30μm
    I PROBE=50PA
    SPOT SIZE=300（没有单位，并且和I PROBE是关联的，一起变大，一起缩小）
    我一般I PROBE=30~50PA，据说分辨率大，图象清晰，做能谱时设为150~250PA调节计数率和死时间DEADTIME
    BEAM CURRENT和I PROBE有什么区别
    acquisition counter 和input counter前面的是计数率

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  • 第13楼2005/07/08

    BEAM CURRENT和I PROBE有什么区别
    一个是电子束束流，一个是电子束经透镜最后形成的类探针电流，是前段和后段的区别啊，一般BEAM CURRENT要调整吗，调它的作用是什么？

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  • 第14楼2005/07/08

    扫描上我没有见过I probe的选项，所以我理解的意思和你应该是一样的。就是说beam current是发射出来的最初电子束的强度，而i probe是经过系列透镜的调节之后打在样品上的电流大小。不知道是不是正确。
    透射上有打在荧光屏上的current density，是说单位面积上电流的多少。也就是视场亮度的度量值。是不是和i probe的意思一样？

    cz_sem 发表:BEAM CURRENT和I PROBE有什么区别
    一个是电子束束流，一个是电子束经透镜最后形成的类探针电流，是前段和后段的区别啊，一般BEAM CURRENT要调整吗，调它的作用是什么？

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  • 第15楼2005/07/08

    nA是很大的单位了，只有钨灯丝能达到µA级，场发射电镜中热场也就能达到十几nA，冷场最大是2nA。
    我很怀疑，最大束流如何保证高分辨率？
    2nA应该是为能谱分析用的，看20~30万倍电子束太粗了。

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  • 第16楼2005/07/08

    这些都是JEOL产品里提供的数据，还是说出了fei的老型号都有？我怎么就没看到过呢？

    semuser 发表:nA是很大的单位了，只有钨灯丝能达到µA级，场发射电镜中热场也就能达到十几nA，冷场最大是2nA。
    我很怀疑，最大束流如何保证高分辨率？
    2nA应该是为能谱分析用的，看20~30万倍电子束太粗了。

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  • 胖胖熊

    第17楼2014/04/29

    蔡司工程师说beam current没用，我感觉不太可能的事情，前面束流改变，在其他部位不变的情况下探针电流应该是要改变的，束斑大小可能不变，起码电流改变了，性噪比肯定是变化的

    原文由cz_sem发表： BEAM CURRENT和I PROBE有什么区别
    一个是电子束束流，一个是电子束经透镜最后形成的类探针电流，是前段和后段的区别啊，一般BEAM CURRENT要调整吗，调它的作用是什么？

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  • 胖胖熊

    第18楼2014/04/29

    蔡司工程师说beam current没用，我感觉不太可能的事情，前面束流改变，在其他部位不变的情况下探针电流应该是要改变的，束斑大小可能不变，起码电流改变了，性噪比肯定是变化的

    原文由cz_sem发表： BEAM CURRENT和I PROBE有什么区别
    一个是电子束束流，一个是电子束经透镜最后形成的类探针电流，是前段和后段的区别啊，一般BEAM CURRENT要调整吗，调它的作用是什么？

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  • 胖胖熊

    第19楼2014/04/29

    蔡司工程师说beam current没用，我感觉不太可能的事情，前面束流改变，在其他部位不变的情况下探针电流应该是要改变的，束斑大小可能不变，起码电流改变了，性噪比肯定是变化的

    原文由cz_sem发表： BEAM CURRENT和I PROBE有什么区别
    一个是电子束束流，一个是电子束经透镜最后形成的类探针电流，是前段和后段的区别啊，一般BEAM CURRENT要调整吗，调它的作用是什么？

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