第40楼2005/07/22
电磁透镜的分辨本领与像差
电子波波长很短,在100KV的加速电压下,电子波波长为0.037A,用这样短波长的电子波做显微镜的照明源,根据Δγ0=0.61λ/(nsinα)计算,显微镜的最小分辨率可达0.02A左右,然而到目前为止,电镜的最佳分辨率仍停留在1-2A的水平,这是因为电磁透镜存在球差、像散及色差等各种缺陷----像差。
(1)球差
球差是由于电磁透镜中心区域和边缘区域对电子会聚能力不同而造成的。远轴电子通过透镜时被折射得比近轴电子要厉害得多,因而有同一物点散射的电子经过透镜后不交在一点上,而是在透镜像平面上变成了一个漫射圆斑。
(2)像散
像散是由于透镜的磁场轴向不对称所引起的一种像差。磁场不同方向对电子的折射能力不一样,电子经透镜后形成界面为椭圆状的光束,使圆形物点的像变成了一个漫射圆斑。
(3)色差
色差是由于成像电子的能量或波长不同而引起的一种像差。能量大的电子在距透镜中心比较远的地点聚焦,而能量较低的电子在距透镜中心比较近的地点聚焦。结果使得由同一物点散射的具有不同能量的电子经透镜后不再会聚于一点,而是在像面上形成一漫射圆斑。
由于上述像差的存在, 虽然电子波长只有光波长的十万分之一左右,但尚不能使电磁透镜的分辨率提高十万倍。目前还不能制造出无像差的大孔径角的电磁透镜,而只能采用很小的孔径角尽可能减小球差等缺陷的影响。电磁透镜的分辨本领只比光学透镜提高一千倍左右。
球差和色差是电镜设计、制造后就固有的,无法改变。像散的影响因素较多,电镜设计时把它设计成可调的。不管像差如何,只要电镜的分辨率能达到要求那就 OK。如果像散调不好,最大的可能就是光栏、镜筒污染,需要清洗镜筒,清洗或更换光栏。
第43楼2005/07/22
请问您对FEI公司的TITAN产品和单色器怎么看呢