雾化器系统漏气，请检查后重新装

以我的经历以雾化系统漏气为主要原因。

我们碰到过这样的事情，已经证实的原因有2种：1抽风没开或者风量不足2.上下防尘垫太脏，基本不通风，一样是散热不充分。

多谢大家这么热心，到最后证实是氩气不足的原因！
大家说的都很有道理，以后遇到类似情况就可以逐一排除了!集体的力量就是大呀

另外，检查一下电脑主板与ICP连接是否正常！

1、气体纯净度
2、是否配了稳压源，稳压源功率是否达到要求
3、更换射频线

首先要看报错的信息，再和工程师或者有经验的操作者交流，看看是否出现同类问题以及解决方法，然后自己动手逐步排除障碍，或者重新检查连接部位，就像电脑一样给他还原到以前的状态，看看效果如何，

既然点火成功后熄火，主要的原因是雾化、矩管漏气。

估计管路漏气的可能性比较大

氩气压力，纯度。
管路连接。
循环水，排废气出口温度。
电源是否稳定。
最可怕就是射频发生器老化或者出问题了。