第11楼2005/07/27
嗯,二次电子像就是要将电压降下来,是减少其他信号的干扰吧,BSE信号是高压的时候才比较强的。
第12楼2005/07/27
你的回答再加上 SEANWEN朋友和 SHXIE斑竹的答案 , 应该就是答案, 我也在学习呦。不过二次电子像对加速电压并不敏感,但如SHXIE斑竹所说, 可以减少BSE的干扰。30KV的纯二次电子像和1KV的差别真的不大。纯成分像只有在样本没有任何形貌的情况下才能得到。请继续指教。
第13楼2005/07/27
没有任何形貌指得是光滑膜表面吧?这个要观察形貌像也比较麻烦,需要把样品台倾转一下的吧。30Kv和1Kv的二次电子像差别在于信噪比吧,质感不同啊,我一般都用高电压,低电压太痛苦了,不过你用的场发射感觉差别不大也正常。
第14楼2005/07/27
高低加速电压的二次电子像还是有区别的,看纳米管、薄膜等较薄样品时很明显,加速电压一高,可看到样品下面的东西。
第15楼2005/07/27
是的,没有形貌就是平板一块, 不过倾斜样本只能增加信号强度, 平板一块还是平板。是的, 高压SE像噪音较低压低, 不过SE信号强度基本一样呦。
第16楼2005/07/27
对凹凸不平的表面从上往下看可能看不出高度与深度,倾斜后会比较明显,曾经在网上看过这样的资料。KEYENCE的说明书上说在看表面细节的时候最好用较低的加速电压,这些细节会在大加速电压下损失掉,我试过一下,但好像没凑效。
第17楼2005/07/27
您没有看 SHXIE的第三张贴, 二次电子只在 5-10NM层, 高加速电压是看得深没错, 可看到的不是二次电子呦。
第18楼2005/07/27
没错, 只要有形貌, 倾斜样本 看到的是很不一样, 因为ET检测器的检测角度变了。正像SHXIE斑竹说的一样,低电压工作很痛苦, 原因是信噪比太低。不过据我的经验, 你越能忍受噪音, 坚持工作, 最后得到的 图像就越 清晰。这种低信噪比的情况 在高倍照相的时候也会出现, 原因不一样呦。
第19楼2005/07/28
这种细节损失指的是分辨率足够高的时候吧,一般的电镜能看到吗?
第20楼2005/07/28
是啊,如果能慢扫,得到的图片还是很不错的,但是你怎么能保证慢扫的时候样品一点都不漂移?还是很难的。