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  • YL

    第11楼2009/08/23

    换了推斥级前后的2个陶瓷垫片效果好多了。
    现在基本可以判定原因是，2个陶瓷垫片脏了，有微导电效应

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  • 执著

    第12楼2009/08/23

    从这个推断，离子源安装的到位不到位应该也会影响，那个陶瓷垫片好像是耗材，我们有备用的，不过拶指没偶遇见到你说的这个分叉的情况

    lshxiaoqiang 发表:今天把离子源，四级杆，EM。全拆洗了。。。还是未见改变。。。
    但换了离子源上的2个陶瓷垫片，似乎好了许多。抽一晚上真空，明天见分晓！

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  • YL

    第13楼2009/08/23

    呵呵，这种情况应该极少见。想是大家分享下，也由此可见陶瓷垫片的清洁及关注也是有必要的。MS啊，有时真是太复杂！

    readonly 发表:从这个推断，离子源安装的到位不到位应该也会影响，那个陶瓷垫片好像是耗材，我们有备用的，不过拶指没偶遇见到你说的这个分叉的情况

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  • 阿宝

    第14楼2009/08/23

    楼主，换了那两个陶瓷片之后问题彻底解决没有？

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  • YL

    第15楼2009/08/24

    峰型好了些，但没有彻底解决。以前这台机清洗2周后就分叉，现在用几天看效果在做详细回复。

    lpr20 发表:楼主，换了那两个陶瓷片之后问题彻底解决没有？

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  • 东方逸

    第16楼2009/08/24

    陶瓷片我们从来都没换过，也没出现过问题。这个几率真是很小。

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  • xiaodaowudi

    第17楼2009/08/24

    俺的陶瓷片还碎过呢，就一半还装上用了用呢。哈哈哈哈

    uhlan 发表:陶瓷片我们从来都没换过，也没出现过问题。这个几率真是很小。

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  • lxx5052

    第18楼2010/03/23

    18的分叉呢？

    阿宝(lpr20) 发表:今天请教了一下岛津的工程师，他说真空度不够的时候69也会分叉！不知道对楼主有用没？

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