CP-AES的分析性能可从它的检出限，精密度等确定他分析多元素的测定能力。
检出限 定义为净测量值等于背景或空白测量标准偏差3倍时所对应的分析物浓度。检出限高低取决于仪器操作参数，进样方法和元素性质。对于多数元CL一般为0.1-100ng/ml。与经典光谱分析近似。
精密度
精密度一般用标准偏差RSD（%）表示。
一般场合RSD（%) <=10%是可以达到的。
大部分仪器RSD可小于2%。
从精密度的角度，ICP-AES 优于其它分析方法
准确度
准确度用系统误差来衡量，系统误差是由于各种干扰效应所引起。
ICP-AES的总误差一般不大于10%。
优于电弧和火化分析法，与原子吸收相当。
ICP的线性范围通常是非常宽的，影响线性范围的因素有很多
首先，从硬件上来看，和检测器的性质有关，不同检测器的光电转换能力的不同，对线性范围有很大的影响，不过，现在的检测器，抗溢出已经做的很不错了.
还有就是观测方式的不同也很有关系，轴向的比径向的要好些
另一方面，从操作的角度来看，有以下几点因素
1.不同的元素间，线性范围相差很大，像Na一般从1-20mg/l就不太行了，而像Cu从1做到100mg/l还是很成线性的)
2.不同的谱线发射,例如是离子线激发还是原子线激发,一级还是二级发射
3.雾化效率,这就跟雾化器，雾化室，气流压力以及泵速有关了
4.功率的大小，直接决定了激发的效率，从而影响元素的检测范围
高端的缺点也不大是吧，一般的都24h不断电的，都要恒温的，经常大关机，再恒温话，温差太大，对机器也不好，除非它相当长时间内不用
多元素检测果的目的，一是要快，二是要准。目前的ICP光谱对于多元素检测效果应该都还可以，常规元素分析应该效果都差不多。多元素检测是有两种，一种是多元素连续检测，即在同一个样品中测完一个元素再测另一个元素，速度慢，精密度一般，属于现在较低端的ICP，比如PE的2100；另一种是多元素同时测定，即在同一时间同时检测出多种元素的含量，和ICP-MS是一样的，分析速度快，精密度高，属于较高端的ICP，如PE的7300，Valian的710。
表面上看多元素同时检测会更有优势一点，测的更快，时间更短，但是高端的ICP也有缺点，机器的预热时间都比较长，比如PE7300，每次开机预热4小时左右，而PE2100预热只要十来分种就可以测了，孰快孰慢就看个人需要了。
参数方面，线性范围各家的仪器也都差不多，而且一般用户也用不了5-6个数量级，要同时测0.1ppm和100ppm的用户相信也没几个。所以参数方面关键的看的是检测系统是同步式还是扫描式，还有分辨率、量子效率、检测器噪音等这些参数。