第22楼2006/07/14
[求助]May请教各位高手!
扫描电镜(SEM-EDS)验收时需要注意地方为何? 验收时是不是主要对其分辨率做验收动作?请不吝赐教!
准备要验收的仪器型号是FEI Quanta Inspect,EDS 是Inca Energy 250。
据介绍Quanta Inspect可自由方便地在两种真空模式下切换, 适合分析各种导电样品、不导电样品和那些不适合在高真空下观察分析的样品:1。高真空模式(典型真空度10-3 Pa): 对导电样品和/或处理过的样品进行成像和微观分析;2.低真空模式(<270 Pa): 无需进行样品处理, 对不导电样品进行成像和微观分析。
Thanks in advance!
BR
A May