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  • 第11楼2008/11/28

    ICP-MS测高纯硅的话，应该是可以的，你先测杂质含量，最后一减就可以了

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  • 第12楼2008/11/28

    你作过？
    谁做到过？
    １０００级洁净室，６个Ｎ没问题，７个Ｎ也还可以作，８个Ｎ？敢报多少种元素？

    zhengxxx 发表:如果做的是硅片表面杂质分析

    按照SEMI的标准方法

    在较理想的实验室条件下，可以完成7～8个9的高纯Si分析

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