nps
第21楼2010/12/04
还是和样品中磷含量有关,含量太低了,用标准模式或者反应气模式检测限到不了那么低,冷焰可以显著降低检出限,但是受基体影响更明显,纠结啊。
kiwi-kids
第22楼2010/12/06
其实高分辨率质谱这个时候应该派上用途了
光哥
第23楼2010/12/06
貌似如果没意外的话,硅外延用三氯氢硅的杂质分析GB是通过了,P用冷焰不过感觉这个标准好那么什么什么的~~。。。。
zhangjing770880
第24楼2013/05/02
你好,请问下目前FPD方法怎么样了啊!有进展没?
liaoxiaozi
第25楼2014/07/24
GC-MS测试一下试试 理论上实现比较容易 正在做氢气中磷的测定有兴趣可以联系 光谱可以做到2ppb 石墨炉原吸应该是最好的选择低干扰高灵敏度
zxm1987322
第26楼2020/04/21
楼主还在这个行业吗?
第27楼2020/04/21
帮回复下:早就不在了
第28楼2020/04/27
,是的,不在多晶硅行业了,现在是第三方检测...