xiaoxun929
第12楼2009/11/17
说的很详细,学习了。
但还有些厂家的ICP,会多出了一路气体,即护套气,目的和冷却气差不多,但效果会更好些,主要为了避免记忆效应,避免高盐溶液堵塞内管。
robinzhang
第13楼2009/11/18
你可以仔细观看一下炬管结构,冷却气和辅助气都是切线进入炬管的!
shaweinan
第14楼2009/11/18
[div]原文由 robinzhang(robinzhang) 发表: 你可以仔细观看一下炬管结构,冷却气和辅助气都是切线进入炬管的![/div]
辅助气是从炬管的下部侧面进入的,有的虽然不是对着正中,这种情况你非要强调是切线进入的也不为过,可内管的直径要明显小于中间管,同时辅助气的流量通常不会超过Ar总流量的10%,所以流量比较少,应该行不成什么涡流。