会成为能谱定量分析中主要的c误差因素吗？ 这种污染似乎很表面，很难想象增加那么多误差！

可以做个试验，不含碳的样品。选一点，采谱条件固定，打10次，每次100秒，会发现碳含量在升高。

1.电子束的污染 2.碳胶带的影响 3.空气中的有机体污染
都会使样品带有不同程度的C含量. 有做过试验,在相同条件下,同一个样品在经过 plasma clear 之后EDS分析出的C含量要明显低于clear之前的.

EDS中的C峰主要来自油扩散泵的C污染，加冷阱可显著降低C污染。