喷嘴材料有不锈钢、铂、陶瓷和石英的
不锈钢、铂缺点是必须与地绝缘，而陶瓷和石英电绝缘性好、化学惰性好，所以目前多用陶瓷和石英的。
极化极一般用不锈钢、铂金或镍合金
收集极多用不锈钢