最好做个隔断，把真空泵和散热的装置也统统隔离，

我们是机械泵加扩散泵，机械泵有点声音，可以忍受！

我们这用的是Edward干泵，湿泵容易漏油。。。其实干泵只是开始的时候声音大，其它时间也一样的。要不给电镜加个主动防震台，就无需怕噪声和震动了。哈哈哈，就是贵了点