样品有些放电,束流和加速电压不用太大,轴调整没有做好.

你所使用的束斑直径能否保证3W倍下有足够的分辨率呢？

我也遇到过该现象，本人认为是由于样品在高倍下耐受电子轰击力较差，致使样品受损，融化所致。可以降低电压，束流，拉大物距试试，如还不行，只能避开聚焦位置，在其附近取景拍照。

是氧化铝，应该能耐高压和温度。

今天试了电压，20kv和25kv差别不大，每天在试试。

感觉像象散没有调好一样的，不过有些样品如果你在一个地方照的太久了，由于样品污染也会这样，建议你换个地方重新拍一个图片了，或者重新调试一个机器。