EDS分析样品表面微米深度的信息，给出定性、半定量分析
XPS则可以分析纳米级别深度的信息，给出分析元素种类及其价态...

说简单点，XPS的的检出限是0.1%，精度高，分析元素多除了H和He，EDS和EDX是一样的，检出限1%，分析元素Be----U

以前EDS和EDX是通用的，后来为了统一，标委会规定EDS称为能谱仪，而EDX称为能谱法。

eds的检出限是0.1%，钢的合金化元素中小于1%的很多。

建议你用XPS做测试就好，这个完全可以解决你的问题的。。。。。。。。。。。像你这种还可以选择化学的方法啊 。。。。加我QQ1458226642，细聊可以。。。。。。。。。。。。。。

fengyonghe(fengyonghe) 发表:eds的检出限是0.1%，钢的合金化元素中小于1%的很多。