在样品表面不导电的时候,使用SEM观察会发生电荷积累,所以需要一层导电膜,近年来的低真空和ESEM技术可以有效地解决这个问题了,所以可以不喷金或是喷碳了,不过很多人还是使用传统的高真空SEM,则只好采用传统的办法了,导电膜一般来讲需要满足以下几个条件:
1/ 连续且导电性好,一般来讲,金膜在10纳米厚的时候延展性,连续性都比较好,过薄则连续性差,导电性不好,过厚则易开裂,影响形貌
2/ 二次电子产率高,对形貌起增强作用,一般来讲较重的金属元素是首选材料
3/ 颗粒小,不影响样品原始形貌,一般喷镀好的材料表面镀膜颗粒最好在2纳米左右,因为技术的原因,再小的颗粒一般的设备比较难以实现
4/ 由于重元素对能谱需要采集的信号有一定的吸收作用,所以在进行能谱观察的时候,尤其是有定量要求时,尽量镀碳
现在的溅射仪带喷碳附件的大都能满足要求,不过超高分辨型SEM是可以看得到喷镀膜颗粒的,尤其是那种没有喷好的膜.
而镀膜仪一般是用于TEM制样的,其颗粒较小,但是喷镀的量较小,而且膜的导电性不是足够好,TEM制样时只要求有一个投影就可以了,导电性要求也不如SEM这样高,而且操作起来抽真空时间较长.