应助达人
谢谢反馈。在泵的下面放一个盘子,平时注意观察检查。
小琪(thxdyx) 发表:经过一上午的奋战,现在故障已经排除咯!
原来不是风扇坏了,而是前级泵没油了。在观察窗口已经看不见前级泵油的液面了,底座盘里漏出了许多油。工程师说可能是滤芯的问题或者是泵本身的问题导致漏油,进而使泵无法正常工作,MS也就不能达到能使分子涡轮泵正常工作的真空度,MS也就不工作了。(到底是什么原因导致漏油,还有待后续的观察)
现在重新加了油,仪器也恢复正常了,正好赶上中秋小长假,抽个3天,回来就能用了。
这次的教训是,一定要定期观察前级泵油的液面。以前泵的性能好,没在意。现在也到了该细细地维护的时候了吧?呵呵O(∩_∩)O~