AES是可以解决问题... 但是太奢侈啦,每个样品都这么搞非累死不可。 5KV的EDX很多元素没法激发出来的。。。呵呵,据我所知,您那边的AES任务也挺重的,一般也要排队的。 多谢兄弟了,下次有特殊的再给你做好了。
wbslandy(wbslandy) 发表:降低测试电压是个措施. 以镍为例, 20KV的电压采样深度约1微米, 10KV采样深度约400纳米, 5KV的约100纳米.
措施之二: 用AES(俄歇能谱)测量,你样品如果少的话,可以把样品寄给我,我友情帮忙, 到时候买包烟犒劳我就可以了.
AES只测表面几纳米的深度, 你如果想再测深点,我可以离子溅射外面一层,再测试.