驰奔
第11楼2010/06/25
针对楼主的第1问题,我查阅有关资料。
SE2、3、4...对于带有高空间分辨信息的SE1是干扰项,目前没有任何办法可以把他们从本质上区分开。但可以尽量降低这些信号在总信号量中的比例,例如降低加速电压,在样品室壁极靴壁上涂一层防护膜(二次电子产额低材料),inlence det 等。
SE2、3,带有物质1的原子序数信息。物质1原子序数越高,背散射电子发射数量越多,相应产生的SE2、3数量就越多。而se1随原子序数变化不明显,SE2,3变化较明显。
一般讲,二次电子探测器所形成的形貌像带有一定成分信息,大概多源SE2、3,还有少部分是直接背散射电子射入探测器。
您的同事感觉是对的。
fengyonghe
第14楼2010/06/27
论坛是个学习交流的地方。从上世纪50-60年代到迄今为止,还没有关于这个问题的描述,即,“SE2、3,带有物质1的原子序数信息”。我的SE2与物质1无关的概念来源于二次电子的成像理论。SE1离开物质1并被二次电子探测器探测到,就形成了物质1的形貌信息,同理SE2/3被二次电子探测器探测到,同样会形成物质2/3的形貌信息,不再具有物质1的形貌信息。但在显示器上,它们可能叠加在同一个扫描点上,因而形成干扰。SE1具有物资1的原子序数信息,而SE2/3是由背散射电子(或许还有X-光子)激发的二次电子,这个二次电子从物质2离开试样表面,二次电子探测器便检测到了物质2的形貌信息,同时具有物质2的原子序数信息。归根结底,任何时候,我们能检测的是试样被激发出来的信号。
驰奔
第15楼2010/06/27
您听说过转换探测器吗?如果没听说过,那么您这样错误的理解是有情可原的。
linzq
第17楼2010/06/28
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转换探测器是不是指将背散射电子打击到一个电极(金属)上激发那个电极的二次电子(数量越多的背散射电子激发出更多的二次电子)然后被二次电子探头吸收。4800的上探头就是这样检测背散射电子的,他们称为EXB的作用之一。不过我觉得转换后背散射像的质量是无法和背散射探头直接接收的背散射像比的,至于驰奔所说的SE2\SE3是背散射激发出来所以带有他们的信息,理论上好像说的过去。不过实际上是否可行,我不敢做这样的判定。因为我觉得颗粒太小的话会有差别给你探测到吗?这只是我的自己的初步判断,一家之言不见得正确。其实概念都是在修正之中的,没有一成不变的概念。这就是我不成熟的一点看法。