真空系统由前置的真空泵（看得出贵司所用是油式的旋片真空泵） 和涡轮分子泵组成，如果你不定期维护，用的时间越长，抽真空就越难。

油式的旋片真空泵一定要定期换油，是将泵内原有的油全部排出后，再添加少量新油，再排出，再加新油。油的添加量，要介入最小值和最大值之间。
大约用到3-4年， 油式的旋片真空泵就应当作标准保养，更换内部所有的密封套件及滑片

油式的旋片真空泵的测试很简单，用一个低真空皮拉尼传感器直接装到旋片真空泵的抽气口，测量其真空度------应当在0.003mbar以下，就知道

其状态如何

涡轮分子泵，就复杂一些，可用频谱分析仪测试其震动及震动加速度，就可以判断其内部轴承的好坏，是否应当送修啦。有些型号的分子泵电源，内有
RS232口，可以接上电脑，查看其状态。

其他要注意，就是看看系统有无渗漏，要用到氦检仪，这些要用到专业设备，就不多说啦

真空系统由前置的真空泵（看得出贵司所用是油式的旋片真空泵） 和涡轮分子泵组成，如果你不定期维护，用的时间越长，抽真空就越难。

油式的旋片真空泵一定要定期换油，是将泵内原有的油全部排出后，再添加少量新油，再排出，再加新油。油的添加量，要介入最小值和最大值之间。
大约用到3-4年， 油式的旋片真空泵就应当作标准保养，更换内部所有的密封套件及滑片

油式的旋片真空泵的测试很简单，用一个低真空皮拉尼传感器直接装到旋片真空泵的抽气口，测量其真空度------应当在0.003mbar以下，就知道

其状态如何

涡轮分子泵，就复杂一些，可用频谱分析仪测试其震动及震动加速度，就可以判断其内部轴承的好坏，是否应当送修啦。有些型号的分子泵电源，内有
RS232口，可以接上电脑，查看其状态。

其他要注意，就是看看系统有无渗漏，要用到氦检仪，这些要用到专业设备，就不多说啦

真空系统由前置的真空泵（看得出贵司所用是油式的旋片真空泵） 和涡轮分子泵组成，如果你不定期维护，用的时间越长，抽真空就越难。

油式的旋片真空泵一定要定期换油，是将泵内原有的油全部排出后，再添加少量新油，再排出，再加新油。油的添加量，要介入最小值和最大值之间。
大约用到3-4年， 油式的旋片真空泵就应当作标准保养，更换内部所有的密封套件及滑片

油式的旋片真空泵的测试很简单，用一个低真空皮拉尼传感器直接装到旋片真空泵的抽气口，测量其真空度------应当在0.003mbar以下，就知道

其状态如何

涡轮分子泵，就复杂一些，可用频谱分析仪测试其震动及震动加速度，就可以判断其内部轴承的好坏，是否应当送修啦。有些型号的分子泵电源，内有
RS232口，可以接上电脑，查看其状态。

其他要注意，就是看看系统有无渗漏，要用到氦检仪，这些要用到专业设备，就不多说啦