+关注 私聊

  • 第11楼2005/12/22

    十几分钟?怎么这么快啊.样品没减薄前多厚?
    另外国内南大也有一台FIB,两年前随新电镜一起买的.


    mark000 发表:我是中芯国际的，用FIB做TEM 的样品，我们这边一般半个小时就可以了，有的简单的样品十几分钟。很适合半导体样品的分析，不过不知道学校研究样品制备有什么特别的要求。

0
    +关注 私聊

  • 第12楼2005/12/23

    样品不同，时间也不一样的。我接触的时候，仪器刚刚装好，样品难度也高，准确地说是做EELS样品。

    我们组一个operator就是操作FEI的一台很老的FIB，离子束斑为10nm,专为Super SEM做样的。很快，操作也简单，一般一周就可以学会并工作。

    FIB做TEM样品比较难度大点。因为首先要定好位，减到你要想看的区域为薄区才算成功。我以前的要求是一天做一个样。一周作4个样。我们有一个工程师，作了两个月，还没作出一个让我满意的TEM样品。不同的材料，电压电流，速度，aperture都不一样的。
    刚装好设备的时候，供应商的工程师作了一个星期，马马虎虎作了一个样品。后来请公司总部一个老做FIB的工程师过来，也是一个星期，没有作出一个满意的样品。
    每天都要做alignment,叫daily adjust.还有base adjust, initial adjust. 都比较烦.

    做TEM样品的时候有几种方式，一种是pick up方式，就是在样片两侧挖下去，把中间的薄片取出来，再用一套probe装置挑出来，粘到预先放好的holder上，
    再在精细加工。 能够熟练挑出来是要花功夫练的，而且要非常有经验的人指导。 还有就是在样品上做成薄片，拿到外面，用专名的一套光学probe系统，零用静电作用，把样品挑出来，放在碳膜上。

    还有种方式就是把样品，预先磨成10-30个micro,粘在holder(这里的holder可以直接放在TEM holder里，一般为梳妆或半圆）上，做好薄区就可以放在TEM中观察了。
    一般的TEM像，对样品厚度要求不象STEM或者EELS那么高还好说，如果要做EELS通常，一次加工厚的话，马上返回FIB rework. 经常出现最后一下加工失败，前功尽弃。

    我们经常说，有心脏病的人不要做FIB的TEM样品，尤其是最后一下，你想做得更薄，往往就失败。

    另外，FIB是个很娇贵的设备，动不动就出毛病，对外部环境要求也很高，要求磁屏蔽，防震。

    样品清洁很重要，样品上任何一点脏东西，在FIB里面会有影响。




0
    +关注 私聊

  • 第13楼2005/12/24

    不用把FIB说得这么恐怖吧，机器再好也是人在用。
    我们的设备是请厂商调好，之后发生故障的频率也不会很高。
    刚开始用FIB制样失误率是比较高，但是时间长了后就没有感觉了。
    不管是pick-up还是pre-thinning的样品，在我们这里，简单的样品用FIB切割的时间只需要十几分钟的。
    pick-up的样品不需要预减薄，所以不说厚度。
    pre-thinning的样品我们可以磨到5~20um，一般20um以上的样品就会比较花时间去切，有的时候 样品质量也会不好。
    可以请教一下吗，在学校研究中，TEM 到底是做什么用的？
    看了这个论坛，感觉收获不是很大。
    在这里用TEM 的人是只做操作工还是会有自己的课题和兴趣做些研究？有些什么成果吗？

0
  • 精
  • 该帖子已被管理者-设置为精华，下面是奖励记录：加5积分,加5声望
    +关注 私聊

  • 第14楼2005/12/25

    gamexxp 发表:呵呵,我FIB学了三个月,会了就没弄了,专门有两个工程师帮我作样.熟能生巧,他们操作更熟练.只是设备经常坏,需要我跟另外一个哥们折腾.

    你要学专业的tem的话还是到国外最好的实验室去,至少不要在中芯国际做,那里不会提供专业培训的,那里只培训操作工.这里是个初学者讨论的论坛,大家友好的说说最基本的东西,气氛很好.

    工厂里只要工程师与操作工.我们很多大型设备都是初中或高中毕业的操作女工.因为工厂供应商提供的客户服务相对好,所以仪器状态也好. 工厂的仪器操作很累, 有的女孩子一天要连续做12个小时.样品堆成山.经理压工程师,工程师压操作工. 在研究所一周做一次tem,其余时间搞搞模拟,查文献,分析结果.学什么都要到最好的地方.

    工厂不适合呆,尤其是做仪器分析.连续一周做电镜,累死了. 命要紧.赶紧撤了,呵呵!
    深深知道资本家的本性!工资不高,博士才8k,硕士4k,本科2k,严重的学历歧视. 人民币.我有个同学在中芯国际做了一年,天天叫屈.

0
  • 精
  • 该帖子已被管理者-设置为精华，下面是奖励记录：加5积分,加5声望
    +关注 私聊

  • 第15楼2005/12/25

    恩，对于高手来说这里不会有太多收获的，学校里还是只把TEM当作测试手段来用，人员也就是操作工。gamexxp也说了，都是样品成山，没法搞自己的东西，要想办法独立起来，拿课题，然后才能有自己的成果啊，还好，这样的日子快到了。

    mark000 发表:看了这个论坛，感觉收获不是很大。
    在这里用TEM 的人是只做操作工还是会有自己的课题和兴趣做些研究？有些什么成果吗？

0
0
    +关注 私聊

  • 第17楼2008/09/24

    主要的问题是薄区不好

0
    +关注 私聊

  • 第18楼2008/09/25

    我以前发的TEM照片就是用FIB制样的，一个试样750刀哇，很贵。

    不过我要观察的相量很少，而且只在界面的一些地方上出现。不过FIB容易对试样产生损伤，影响观察结果。

    我这里有ASU winter school 2008 的一些课件，有专门讲FIB的。

0
    +关注 私聊

  • 第19楼2008/09/25

    你怎么有的啊？我在这里学习，免费参加了听课，但是他们只给打印版本，没有给电子版本，不过我看了FIB，这里一个小时$50,内部价格，据说用的人不多。现在组里有一个人用，主要是当成SEM用，作表面的元素分布。作一个样品只有10分钟左右，至于制作TEM样品，我只是听说，没有看过。
    我的样品是现成的，用不着，只是跟着别人看看呗。

    [quote]原文由 pplj82 发表:我以前发的TEM照片就是用FIB制样的，一个试样750刀哇，很贵。

    不过我要观察的相量很少，而且只在界面的一些地方上出现。不过FIB容易对试样产生损伤，影响观察结果。

    我这里有ASU winter school 2008 的一些课件，有专门讲FIB的。

0
0
查看更多