mlb2003
第11楼2010/07/13
故障原因还没有找到么?
wccd
第12楼2010/07/14
1、真空泵坏了 2、与光室连接的管路有堵塞或漏气 3、真空度测试装置出问题了 4、软件出问题了你第一个和第四个问题已经排除,重点检查第二和第三个问题了,第三个问题真空检测规一般不容易坏,所以按常规第二个问题是检查重点,检查各阀门和管路连接头,是否有不良之处。
ace003
第13楼2010/07/14
同意楼上的
zhanghaifeng
第14楼2010/07/15
第2个问题漏气的可能性很小,只可能是堵了。感觉第3个问题的可能性比较大。
草原之恋
第15楼2010/07/15
难道是传感器有问题,我觉得最好不要轻易断定此问题,应先把其他问题都排除了再说。
第16楼2010/07/16
Edwards RV是机械旋片真空泵,Quantron Q6 Columbus除了有机械真空泵外还有一个分子泵,不知道QC型号的有没有分子泵。会不会是分子泵出问题了。
第17楼2010/07/16
光谱仪 QUANTRON COLUMBUS
hunyuantaiji
第18楼2012/02/22
朋友您的问题是怎样解决的?请分享一下您的经验。