对准后搬回TDU上的这个卡扣：

重新开机抽真空，两个小时候后来观察，漏气解决了！

其实写到这里：我们平时的实验中，进样口漏气的故障是比较常见的，如果是在开机之前就能排除进样口的漏气，就不必这么麻烦了！

下面我就讲讲我在安捷伦工程师那里学来的，分流不分流进样口检测微漏的方法

6890的分流不分流进样口检测微漏的方法：

1、拆下柱子，用死堵堵上进样口：

2、改成不分流模式：

3、把purge time 设长一点，我干脆设到最大999min


4、把载气节省模式gas saver关闭（其实也可以不关的，因为按了预运行后gas saver就关闭了）：

5、按下prep run键，需要按两下，使pre run灯常亮、设定一个压力，我一般用25psi，使压力达到设定值：

6、用死堵堵上EPC的隔垫吹扫出口：

7、将进样口设定压力off掉，用秒表计时，观察实际压力变化：


如果在一定时间内，压力没有变化，进样口就没有微漏！我个人的判断标准是25psi在1min中没任何变化就没有微漏！

7890的就更简单了，本身就有个漏气检测程序：


在键盘上按 service mode里面有个进样口漏气检查，我做这个检查的时候，把进样口也是用死堵堵上了的！