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  • 第11楼2005/11/18

    真是见多识广，佩服！

    saintchen 发表:Kla-Tencor,洁净室.
    兄弟是在那个FAB工作啊?
    那里应该禁止拍照的,哈哈
    Kla的SEM,一般都是CD-SEM 吧?
    效果一般,但来头比较大.价格巨贵,也只有FAB工厂这种烧钱的地方买的起.

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  • 第12楼2005/11/18

    Chamber大那是因为它是用作看wafer的,如果真如楼主吹嘘的那么大,那就是看300mmwafer的了,难道你是SMIC的?
    那些控制箱有些是控制光电系统的,大部分是控制通信和传动机械的

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