第21楼2007/05/14
XPSpeak峰拟合有两个基本的规则:
1.对于p、d、f等能级的次能级(如p3/2、p1/2,光电子能谱中一般省略/2,即为p3、p1)强度比是一定的,p3:p1=2:1;d5:d3=3:2,f7:f5=4:3。在峰拟合过程中要遵循该规则。如W4f中同一价态的W4f7和W4f5峰面积比应为4:3。
2.对于有能级分裂的能级(p、d、f),分裂的两个轨道间的距离也基本上是固定的,如同一价态的W4f7和W4f5之间的距离为2.15eV左右,Si2p3和Si2p1差值为1.1eV左右。各元素能级分裂数据可参考网上数据库
http://srdata.nist.gov/xps/Doublet_Sep.asp